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3D形貌测试仪主要特点和主要应用

主要特点有：

1、非接触性测量；

2、线扫描，***率；

3、微米级精度；

4、满足透明面及高对比度表面测试；

5、支持二次开发；

主要应用

1、精密部件3D尺寸及段差测试；

2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；

3、3D玻璃缺陷检测；

4、半导体表面缺陷测试；

5、多层薄膜厚度测试；

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背面点胶一致性

对封装点胶的形貌测试结果分析，我们发现背面的点胶有漏胶的情况，整个点胶过程都是不太稳定的。点胶的厚度100um±3um，出现拉丝，漏胶等缺陷，一般检测方式很难发现，但这种缺陷就是整个模块的短板。这种情况的发生，就是点胶量和速度控制不到位。通过检测的结果，有针对性的改善点胶工艺。

除了在OLED点胶检测，3D形貌测试仪还可以对OLED玻璃表面、芯片结构，多层膜进行形貌检测。及时发现缺陷，及时反馈问题，才保证整个产线产出的都是精品，让OLED屏在更多的领域越走越远。

鹰眼系列3D形貌测试仪，除了以上应用，还在精密段差、精密点胶胶线截面/厚度检测、3D玻璃弧边尺寸检测和多层光学薄膜厚度检测上有广泛的应用。

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三维形貌测量方法

光学三维测量方法由于其非接触、***、高分辨率、测量范围广、易于自动化和可测量复杂面形等特点，日益受到科研学者的重视并被广泛应用，其中采用光栅投影方式的测量技术在三维测量方面具有非常重要的应用，其测量精度根据目标对象测量范围的不同而差异显著，一般从几微米到几个毫米之内。

基于光栅投影方式的相位测量技术，其基本原理是通过添加相位的信息来间接得到被测物体的高度信息。首先将特定形状参数的光栅图像投影到被测物表面，通过图像采集系统获取因为受物体高度的调制而变形的光栅条纹，对变形的光栅条纹进行解调，AOI检测设备哪家好，***出相位信息，再建立相位－高度的映射关系，***后由相位信息重构出被测物体表面的高度信息。

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