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贺经理 女士
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发布时间：2020-04-05 08:49:26
DVID-C系列专用平台
特点：
? 作为半导体FAB用，可在Class 1洁净的室内环境中使用。
? 所有材料均用不锈钢制作，光学隔振平台技术指标，可防腐蚀或退色问题
? 安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具
? 为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板
? 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，光学隔振平台哪家好，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位
技术指标：
? 固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
? 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
? 水平复位精度 : ±0.1㎜
? 静负载 : 500Kg
? 自重 : 150 ~ 250Kg
? 材料 : 支架及顶部：不锈钢顶盖：不锈钢
? 工作气源 : 3~5Kgf / cm2压缩空气或瓶装液氮
? 阻尼形式:孔式空气阻尼
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柔量
光学平台***广泛使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下，柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下，柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此，根据定义，柔量值越小，光学平台就越接近设计的首要目标:将挠度小化。柔量是与频率相关的，其测量单位为没单位力的错位量(米/牛顿)。
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DVIO-B系列铁磁不锈钢面包板
说明：
DVIO-B 系列为韩国 DAEIL（大一）株式会社生产的铁磁不锈钢面包板（也用于大一光学平台的台面）。整体采用三层夹心式结构，上台面为热变形系数很小的 430 高导磁镍合不锈钢，内核为钢制真蜂窝结构，底面为钢板，具有高刚性和优1秀的隔振效果。台面上均布 25mm×25mm标准 M6 螺纹孔，光学隔振平台，便于安装各类位移台及调整架。每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯密封，方便清洁。该系列产品适合于对隔振性能和洁净要求较高的环境中。
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